碳化硅材料具有高硬度、高耐磨性和耐化學(xué)腐蝕性。在高溫下性能穩(wěn)定,熱傳導(dǎo)率好,屬于高溫結(jié)構(gòu)材料。
碳化硅主要特征
1.高硬度
2.高導(dǎo)熱性?
3.高溫下機(jī)械性能穩(wěn)定?
4.耐化學(xué)腐蝕性?
5.無(wú)磁?
碳化硅陶瓷的主要應(yīng)用
1.耐磨件?
2.密封件?
3.半導(dǎo)體設(shè)備部件?
4.高溫部件?
碳化硅陶瓷的機(jī)械性能
序號(hào) | 機(jī)械性能 | 單位 | 參數(shù)? | ||||||||||||||
1 | 體積密度? | g/cm3 | 3.1 | ||||||||||||||
2 | 顯氣孔率%? | / | ≤0.15 | ||||||||||||||
3 | 硬度? | HRA | ≥92 | ||||||||||||||
4 | 彎曲強(qiáng)度? | MPa. | ≥470 | ||||||||||||||
5 | 彈性模量? | GPa. | ≥410 | ||||||||||||||
6 | 斷裂韌性 | MPa.M1/2 | ≥3.5 | ||||||||||||||
7 | 熱膨脹系數(shù) | 1X10-6/℃ | 4 | ||||||||||||||
8 | 碳化硅含量 %? | / | ≥98% | ||||||||||||||
9 | 游離硅含量 % | / | 無(wú)? |